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分子泵管式炉

分子泵管式炉

简要描述:分子泵管式炉ZX-12ZGL 库号:M182307
1、真空系统为分子泵机组:即为分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24;由分子泵、旋片真空泵、充气阀、高真空档板阀(主阀)、高真空档板阀(预抽阀)、高真空档板阀(出口阀)、前级管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统。

产品型号: ZX-12ZGL

所属分类:分子泵

更新时间:2021-05-24

厂商性质:生产厂家

详情介绍

分子泵管式炉ZX-12ZGL 库号:M182307, 分子泵管式炉ZX-12ZGL 库号:M182307

一、真空泵选型及技术参数
序号 名称及规格 参数 备注
01 炉体尺寸 φ100×600
02 真空度 <8.0×10-4pa
<6.0×10-6torr 无炉胆空载状态
03 机组使用真空度 <1.0×10-3pa
<7.5×10-6torr
04 机组有效抽速 600L/S 分子泵
05 前级泵抽速 6L/S TRP-24
06 抽气口法兰 LF160
07 启动时间 小于8min
08 到达使用真空度所需时间 ≤2h
09 冷却方式 水冷 水温<25℃
10 总功率 约3kw
11 电  源 220V/380V 50HZ
二、真空系统说明
1、真空系统为分子泵机组:即为分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24;由分子泵、旋片真空泵、充气阀、高真空档板阀(主阀)、高真空档板阀(预抽阀)、高真空档板阀(出口阀)、前级管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统。
2、本机组不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体。它可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等高科技设备的高真空获得装置。工作环境温度5~40℃,相对湿度不大于85%,冷却水温度25℃+5℃。
3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室内部材料(炉体内壁、实验器件、热沉等)的放气量有关,本机组的压力为5.0×10-4pa(3.75×10-6torr),带空炉体无负载压力为8.0×10-4pa(6.0×10-6torr),实际加温时的使用压力为1.0×10-3pa(7.5×10-6torr),抽气时间约为2小时。
4、分子泵不能单独形成抽气,须由前级泵将系统压力降低到扩散泵要求启动的压力之内,一般为≤10pa(7.5×10-2torr),本机组前级采用旋片TRP-24。
5、为了防前级泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内,须在前级真空的进气口配电磁阀,在停泵时自动将系统管路隔离。
6、阀门均采用气动动方式,操作方便。
7、在开始抽气时 ,此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过分子泵而由前级泵直接抽出,这样做可避免被抽容器中气体对扩散泵的污染(水分、挥发物、杂质),待被抽容器压力降低到10pa(7.5×10-2torr)时,关闭预抽阀、开启挡板阀,分子泵开始对被抽容器开始正常抽气。
三、主要技术参数:
指   标   值                              
设计功率 12KW                              
额定电压 380V          
设计温度1200℃                                    
工作温度 1100℃
升温速率 ≤0.1-15 ℃/min  (自由调节)                              
加热区 600mm
恒温区 400mm
控温区 1区
炉管材质 高纯石英管
炉管直径 Φ100mm
控温精度 ±1℃
控温方式 可控硅移相调压+智能PID调节+程序升降温
热电偶型号 S型 双铂铑
加热元件 U型硅碳棒
重量 约240Kg
炉膛材料 氧化铝纤维
炉壳表面温度 ≤42℃
密封方式 双硅橡胶圈,不锈钢金属法兰
随机附件 硅碳棒2支、O型硅橡胶圈4个、隔热塞4个、不锈钢钩1把、耐火手套1双、高温手套1副



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